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线上交谈会仍在继续。
这次轮到了清大副校长，科学院院士黎朔教授。
“终于到我了，我只问江南同学一个有关光源的小问题。”
黎朔教授缓缓开口，问了一个与他本专业有关的问题。
“众所周知，极紫外光刻需要功率极高、稳定性极佳的13.5纳米波长的等离子体光源。现在国际主流是采用高功率二氧化碳激光轰击锡滴靶材产生等离子体，但其中涉及到了复杂的激光靶材相互作用、等离子体调控和碎片管理难题，转化效率和稳定性是公认的世界级瓶颈。”
涉及专业问题，黎朔教授语气严肃。
“既然光刻机从头到尾是西北研究所独立研发，那大家是如何解决这个关键问题的？以及我很好奇，在提升光源功率和延长光镜寿命方面，你个人认为团队最大的创新点是什么？”
虽然观众并不明白这些专业名词指代得到底是什么问题。但从黎朔教授严肃的语气就能感受到这个问题的分量和严重性。
而江南，这次他回答得更快更从容。
“传统锡滴靶材路线面临效率、稳定性和污染三大挑战。我们最初也尝试过深入优化这一路径，但发现受限于基础物理机制和材料特性，短时间内难以取得突破性进展，而且很容易陷入专利纠纷。”
“因此，就像之前在直播中所说，我们选择了一条更具挑战性，但也更彻底的路径。那就是双脉冲协同激发磁约束等离子体光源。”
“简单来说就是放弃了单一的锡滴靶材，转而采用特殊合金薄膜作为靶材。首先用一束超短超强激光脉冲轰击靶材，将其气化成特定状态的前体等离子体团。紧接着在最佳时机，第二束主激光脉冲精确作用于这个前体等离子体团，进行二次激发和约束。”
“至于收集镜寿命，除了在收集镜表面使用我们自主研发的、耐等离子体轰击和自修复能力更强的多层膜材料外，更重要的是我们通过精密反馈系统实时监测等离子体状态，能够确保产生的等离子体‘更干净’，从源头上减少对收集镜的损伤。目前，我们光源的功率稳定在350瓦以上，收集镜的维护周期远超传统路线。”
一串串精准的参数，一个个闻所未闻却又逻辑严谨的技术名词从江南口中源源不断吐出。他好像根本不需要思考，又或者这些东西就像血液一样早就根植
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