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第244章 流片数据出炉,光刻机主体成功[5 / 5]

彻底把箐华甩在后面。

甚至放眼国际,燕大也的地位排名,也在以肉眼可见的速度,每年持续上涨。

特别是有著疯人院」美称的数院。

有这些因素在,能够上燕大的学生,根本不会纠结犹豫。

自然用不著参加这种活动。

放前几年的时候,徐铭偶尔还会帮忙为学校招生宣传,毕竟在他那一大堆头衔中,最开始的可是燕大数院教授。

不过今年肯定是没有这个时间。

6月27日,周二,微电子装备集团总部。

今天光学测量实验室内,要比以往任何时候都要热闹,尤其人员上更是打破记录。

因为在外面房间内,愣是聚集了大十几个身影。

且有将近一半,都为院士。

目前用于流片的晶圆片已完成制造,被送入了光学测量实验室,进行关键的光学测量和电子显微镜检测,这能够得到详细的流片数据,以及晶片良品率。

众人眼下待在这里,正是想第一时间知道结果。

明明面积不大的房间内,大家几乎紧挨著坐下,却愣是安静的很。

纷纷保持著沉默。

谁都没有率先开口打破僵局。

显然心情都很紧张。

直到房间门外突然响起一阵敲门声,瞬间让众人同时抬起视线望去,心脏仿佛都跳快了不少。

平时一向稳重的院长余高远,更是首先脱口喊话。

「进来。」

穿著实验服的科研人员推门进来,手中拿著份崭新出炉的报告,脚步才刚迈进房间,便迫不及待开口汇报。

「徐总师,各位院士领导。」

「晶圆片的光学测量数据结果出来了————」

「直接讲吧。」徐铭闻言立刻出声,把对方的话给打断。

而这个时候,那位科员人员也没有耽搁,仅短暂顿了一秒,忙详细讲出报告中的数据。

「根据测量结果显示,逐光解析度完全达标,光学成像能力优秀,各层图案对齐良好,另外光刻机的机械精度达到预期。」

当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安,等微电子装备科研人员,听完这番话后,原本悬著的心总算彻底放下,证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。

标志著国内终于拥有了,百分之百国产化的,高端极紫外光刻机。

不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝,反倒是强压住心中激动,继续听后面的其他流片数据项目结果。

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