当前进展很顺利。”
魏建成重重点了一下头，算是当众为他站台。
“因此，光源理论我就不详细介绍，其他所过来配合光源系统研发的同志，后续自然会接触到。”
林渊一句话把光源的话题收了个干净，干脆利落。
然后，他的话锋猛然一偏。
“我今天主要想跟大家聊的，是我对另外两大件的研究。”
此话一出，会议室的气氛一下子绷紧起来。
这才是重头戏。
所有人都竖起了耳朵，连呼吸都下意识地放缓了。
“先说物镜。”
“传统光刻机的物镜系统，大家都清楚，本质上就是一套极端复杂的折射光学透镜组。”
“几十块甚至上百块超高精度的玻璃透镜，层层堆叠，去校正像差、色差、还有各种杂七杂八的光学畸变。”
“一块透镜的面形精度要求做到亚纳米级，然后再把几十块这样的透镜叠起来——这条路线的工程难度，在座的各位比我更有发言权。”
这话说得平淡，但在座搞精密仪器的人，脸上的表情都沉了下去。
因为这正是他们多年来啃不动的硬骨头。
不是不会设计。
是我们的工业基础，根本加工不出来！
一块透镜差零点几个纳米，几十块叠在一起，误差累积，整套物镜系统直接报废。
“所以，我的研究方向不走这条路。”
林渊的话干脆到了极点。
“我研究的是——消色差超构透镜。”
消色差超构透镜？
这个概念并不算全新，学术圈里有零星的前沿论文讨论过。
但那些讨论，无一例外停留在最基础的理论探索阶段，离实际应用隔着十万八千里。
而林渊现在说的是，他要把这个东西，用在光刻机的物镜系统上。
精密仪器所的老所长把眼镜重新架回鼻梁上，嘴唇动了一下，但没出声。
他身旁那个中年骨干已经拿起了笔，手悬在笔记本上，却一个字都写不出来。
因为林渊根本没给他们反应的时间。
他直接翻篇了。
“再说双工件台。”
他的话头转得极快。
会议室里，自动化控制所的那个精瘦中年人，身子不由自主地前倾了半寸。
“传统的双工件台系统，用的是气浮轴承加线性电机驱动，位移测量靠激光干涉仪。”
“这套方案已经很成熟了，但也已经快碰到物理极限了。”
“定位精度要继续
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