双工件台定位精度也稳定在了1.5纳米以内。”
“但这不是最关键的。”陈立峰的语气变得郑重，“最关键的是浸没式方案的进展。贺总工那边已经开始做整机验证了，如果一切顺利，明年上半年就能拿出45nm的工程样机。长天光学那边，NA1.35的浸没式物镜也已经进入了镜片研磨的攻坚阶段。”
许晨靠在椅背上，目光变得深邃。
“陈总，我今天给你打这个电话，就是要你盯紧这件事。65nm只是起点，我们的目标是在最短的时间内，把这条路线推到28nm。”
“我知道。”陈立峰的声音里带着一种志在必得的坚定，“许总，我这边已经在做预算了。28nm浸没式光刻机的研发投入会很大。镜片研磨周期、流体控制系统、配套光刻胶的国产化适配，每一个环节都需要持续地往里砸钱。”
“不管多少钱，都要砸。”许晨的语气不容置疑，“天擎能源的定增过段时间就会落地，4200亿的市值不是拿来放在账面上好看的。光刻机我们也要继续往前推。你那边盯紧长天、天卓、天虹和上微电子的进度，有任何进展立刻告诉我。”
“明白。”
许晨顿了顿，语气变得深沉：“国际局势越来越紧了，高端光刻机迟早会被彻底封锁。我们现在有65nm打底，这是底气。但65nm只是地基，28nm才是让整个华国半导体产业真正站起来的基石。这台机器，我们要抢在封锁之前跑出来。”
“许总，您放心。晨宇资本会全力保障这条线。”陈立峰的声音异常坚定。
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